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http://hdl.handle.net/10119/15412
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| Title: | 集積グラフェンNEMS複合機能素子によるオートノマス・超高感度センサーの開発 |
| Other Titles: | Development of graphene NEMS hybrid functional devices for autonomous and ultrasensitive integrated sensors |
| Authors: | 水田, 博 |
| Authors(alternative): | Mizuta, Hiroshi |
| Keywords: | グラフェン
NEMS
センサ
スイッチ
単分子検出
ゼプトグラム
サブサーマルスイッチング |
| Issue Date: | 5-Jun-2018 |
| Abstract: | 原子層材料グラフェンを用いたナノ電子機械システム（GNEMS）作製技術と原子スケールシミュレーションを構築し、グラフェン表面上に物理吸着したCO2単分子による電気抵抗変化を室温で高速に検出するGNEMSセンサと、吸着分子による質量変化をゼプトグラム(10E-21 g)レベルで検出するGNEMSセンサの開発に初めて成功した。さらに、従来MEMS技術では困難であった～1 Vの低電圧でのサブサーマルスイッチング（S値～10 mV/dec）と素子微細化を同時に実現する新奇GNEMSスイッチを開発した。：We built graphene nano-electro-mechanical-system (GNEMS) fabrication technology along with atom-scale simulation and succeeded to develop a GNEMS sensor which enables high-speed and room temperature detection of electrical resistance change caused by a single CO2 molecule physisorbed on graphene as well as a GNEMS sensor which detects zeptogram (10E-21 g) level mass change due to molecular adsorption. We also developed a novel GNEMS switch successfully and demonstrated low-voltage (～1 V) sub-thermal switching with the subthreshold slope ～10 mV/dec and downscaling of device dimensions simultaneously, which are hardly achievable with conventional MEMS technology. |
| Description: | 基盤研究(S)
研究期間：2013～2017
課題番号：25220904
研究者番号：90372458
研究分野：ナノエレクトロニクス、NEMS |
| Language: | jpn |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/15412 |
| Appears in Collections: | 2017年度 (FY 2017)
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