|
JAIST Repository >
i. 北陸先端科学技術大学院大学(JAIST) >
i20. 学位論文 >
D-MS. 博士（マテリアルサイエンス）・博士（材料科学） >
D-MS. 2022年度(R04) >
このアイテムの引用には次の識別子を使用してください:
http://hdl.handle.net/10119/18440
|
| タイトル: | トンネル窒化シリコンパッシベーションコンタクトの開発 |
| 著者: | 文 昱力 |
| 著者（別表記）: | ぶん, よくりつ |
| キーワード: | Passivating contact
Cat-CVD (Catalytic Chemical Vapor Deposition)
Ultra-thin silicon nitride
TNPCon (tunnel nitride passivated contact)
Cat-H (catalytically generated atomic hydrogen) hydrogenation
Direct nitridation |
| 発行日: | Mar-2023 |
| 記述: | Supervisor: 大平 圭介
先端科学技術研究科
博士 |
| タイトル（英語）: | トンネル窒化シリコンパッシベーションコンタクトの開発 |
| 著者（英語）: | Wen, Yuli |
| 言語: | jpn |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/18440 |
| 学位授与番号: | 甲第1399号 |
| 学位授与年月日: | 2023-03-24 |
| 学位名: | 博士(マテリアルサイエンス) |
| 学位授与機関: | 北陸先端科学技術大学院大学 |
| 出現コレクション: | D-MS. 2022年度(R04) (Jun.2022 - Mar.2023)
|
このアイテムのファイル:
| ファイル |
記述 |
サイズ | 形式 |
|---|
| abstract.pdf | 要旨 | 74Kb | Adobe PDF | 見る/開く | | paper.pdf | 本文 | 7786Kb | Adobe PDF | 見る/開く | | summary.pdf | 内容の要旨及び論文審査の結果の要旨 | 257Kb | Adobe PDF | 見る/開く |
|
当システムに保管されているアイテムはすべて著作権により保護されています。
|
