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D-MS. 博士（マテリアルサイエンス）・博士（材料科学） >
D-MS. 2002年度(H14) >
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http://hdl.handle.net/10119/2135
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| タイトル: | Cat-CVD法のシリコン集積回路製作への応用に関する基礎研究 |
| 著者: | 森本, 類 |
| 著者（別表記）: | もりもと, るい |
| キーワード: | ULSI, CVD, 熱履歴, Cat-CVD, RTA, プリカーサ膜, poly-Si, SiNx, CMOS
ULSI, CVD, thermal budget, Cat-CVD, RTA, precusor |
| 発行日: | Mar-2003 |
| 記述: |
Supervisor:松村 英樹
材料科学研究科
博士 |
| タイトル（英語）: | Fundamental Study of Cat-CVD method for the Application of Ultralarge Integrated Circuits Fabrication |
| 著者（英語）: | Morimoto, Rui |
| 言語: | jpn |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/2135 |
| 出現コレクション: | D-MS. 2002年度(H14) (Jun.2002 - Mar.2003)
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記述 |
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