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Doctor of Philosophy（Materials Science） >
H15) (Jun.2003 - Mar.2004 >
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http://hdl.handle.net/10119/2166
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| Title: | シリコン/セラミックス複合カンチレバーを用いたAFMプローブ及びガスセンサ作製の研究 |
| Authors: | 若山, 貴之 |
| Authors(alternative): | わかやま, たかゆき |
| Keywords: | シリコン/セラミックス複合カンチレバー,AFMプローブ,ガスセンサ
Silicon/Ceramic Hybrid Cantilevr, AFM probe, Gas s |
| Issue Date: | Mar-2004 |
| Description: |
Supervisor:山田 省二
材料科学研究科
博士 |
| Title(English): | Microfabrication of Silicon/Ceramic Hybrid Cantilever for AFM probe and Sensor Applications |
| Authors(English): | Wakayama, Takayuki |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/2166 |
| Appears in Collections: | D-MS. 2003年度(H15) (Jun.2003 - Mar.2004)
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