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タイトル: Tiを用いたナノ・メーター超微細加工技術の開発
著者: 小野, 孝
著者(別表記): オノ, タカシ
キーワード: 超微細加工,ナノ・テクノロジー,MITT,Ti,Ti酸化物,陽極酸化
発行日: Mar-1997
記述: Supervisor:松村 英樹
材料科学研究科
修士
タイトル(英語): Tiを用いたナノ・メーター超微細加工技術の開発
著者(英語): Ono, Takashi
言語: jpn
URI: http://hdl.handle.net/10119/2325
出現コレクション:M-MS. 1996年度(H08) (Jun.1996 - Mar.1997)

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