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i. 北陸先端科学技術大学院大学(JAIST) >
i20. 学位論文 >
M-MS. 修士（マテリアルサイエンス）・修士（材料科学） >
M-MS. 1996年度(H08) >

このアイテムの引用には次の識別子を使用してください: http://hdl.handle.net/10119/2386

タイトル: cat-CVD poly-Si膜の結晶構造とキャリア移動高速化の研究
著者: 部家, 彰
著者（別表記）: ヘヤ, アキラ
キーワード: 触媒化学気相成長法、多結晶シリコン、透過型電子顕微鏡、結晶粒径
発行日: Mar-1997
記述: Supervisor:松村 英樹
材料科学研究科
修士
タイトル（英語）: cat-CVD poly-Si膜の結晶構造とキャリア移動高速化の研究
著者（英語）: Heya, Akira
言語: jpn
URI: http://hdl.handle.net/10119/2386
出現コレクション:M-MS. 1996年度(H08) (Jun.1996 - Mar.1997)

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