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M-MS. 修士（マテリアルサイエンス）・修士（材料科学） >
M-MS. 1997年度(H09) >
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http://hdl.handle.net/10119/2451
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| タイトル: | Cat-CVD 多結晶シリコン膜の異方性電気伝導とそれを利用した構造評価 |
| 著者: | 新倉, ちさと |
| 著者（別表記）: | にいくら, ちさと |
| キーワード: | Cat-CVD法 ,多結晶シリコン ,柱状構造 ,異方性電気伝導 ,電子スピン共鳴法
Cat-CVD,poly-Si,columnar structure,electrical anis |
| 発行日: | Mar-1998 |
| 記述: |
Supervisor:松村 英樹
材料科学研究科
修士 |
| タイトル（英語）: | Investigation on properties of crystalline and amorphous phases of poly-Si films prepared by Cat-CVD,using electrical anisotropy |
| 著者（英語）: | NIIKURA, CHISATO |
| 言語: | jpn |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/2451 |
| 出現コレクション: | M-MS. 1997年度(H09) (Jun.1997 - Mar.1998)
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記述 |
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