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M-MS. 1997年度(H09) >
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http://hdl.handle.net/10119/2529
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タイトル: | パルスレーザ照射した(001)Si基板表面上への低温ホモエピタキシャル成長 |
著者: | 巽, 知行 |
著者(別表記): | たつみ, ともゆき |
キーワード: | シリコン、反射高速電子線回折、パルスレーザ、エピタキシャル成長 Si, RHEED, pulse laser, epitaxial growth |
発行日: | Mar-1998 |
記述: | Supervisor:堀田 將 材料科学研究科 修士 |
タイトル(英語): | Low-Temperature Homoepitaxial Growth on a (001)Si SurfaceIrradiated by Pulse Laser |
著者(英語): | Tatsumi, Tomoyuki |
URI: | http://hdl.handle.net/10119/2529 |
出現コレクション: | M-MS. 1997年度(H09) (Jun.1997 - Mar.1998)
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