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M-MS. 2000年度(H12) >
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http://hdl.handle.net/10119/2792
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| タイトル: | Cat-CVD膜を用いた薄膜トランジスタの研究 |
| 著者: | 堤, 隆之 |
| 著者（別表記）: | つつみ, たかゆき |
| キーワード: | TFT、Cat-CVD、電界効果移動度、チャネルエッチ、高速堆積、ボトムゲート
TFT, Cat-CVD, field effect mobility, channel etchi |
| 発行日: | Mar-2001 |
| 記述: |
Supervisor:松村 英樹
材料科学研究科
修士 |
| タイトル（英語）: | Cat-CVD膜を用いた薄膜トランジスタの研究 |
| 著者（英語）: | Tsutsumi, Takayuki |
| 言語: | jpn |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/2792 |
| 出現コレクション: | M-MS. 2000年度(H12) (Jun.2000 - Mar.2001)
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記述 |
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