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M-MS. 2000年度(H12) >
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http://hdl.handle.net/10119/2846
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| タイトル: | Cat-CVDにおけるラジカル種の絶対密度と膜質の相関 |
| 著者: | 堀井, 克彦 |
| 著者（別表記）: | ほりい, かつひこ |
| キーワード: | Cat-CVD法, キャビテリングダウン分光法, SiH_3検出
Cat-CVD , cavity ring-down spectroscopy technique |
| 発行日: | Mar-2001 |
| 記述: |
Supervisor:梅本 宏信
材料科学研究科
修士 |
| タイトル（英語）: | Correlation between radical densities and film properties inCat-CVD processes |
| 著者（英語）: | Horii, Katsuhiko |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/2846 |
| 出現コレクション: | M-MS. 2000年度(H12) (Jun.2000 - Mar.2001)
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