|
JAIST Repository >
i. 北陸先端科学技術大学院大学(JAIST) >
i20. 学位論文 >
D-MS. 博士（マテリアルサイエンス）・博士（材料科学） >
D-MS. 2006年度(H18) >
このアイテムの引用には次の識別子を使用してください:
http://hdl.handle.net/10119/3654
|
| タイトル: | 有機シリコン化合物の触媒化学気相堆積(触媒CVD)過程とリモート触媒CVDの将来展望 |
| 著者: | 森本, 隆志 |
| 著者（別表記）: | もりもと, たかし |
| キーワード: | 触媒化学気相堆積法
有機シリコン化合物
リモート触媒CVD法
Catalytic chemical vapor deposition
organic silicon compound
remote Cat-CVD |
| 発行日: | Mar-2007 |
| 記述: | Supervisor:梅本 宏信
材料科学研究科
博士 |
| タイトル（英語）: | Catalytic chemical vapor deposition (Cat-CVD) processes of organic silicon compounds and the future prospects of remote Cat-CVD |
| 著者（英語）: | Morimoto, Takashi |
| 言語: | jpn |
| URI: | http://hdl.handle.net/10119/3654 |
| 出現コレクション: | D-MS. 2006年度(H18) (Jun.2006 - Mar.2007)
|
このアイテムのファイル:
| ファイル |
記述 |
サイズ | 形式 |
|---|
| 067abstract.pdf | | 62Kb | Adobe PDF | 見る/開く |
|
当システムに保管されているアイテムはすべて著作権により保護されています。
|
