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著者: "齋藤, 瑞"
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発行日
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著者
Mar-2022
酸素吸収層を用いたHf-Zr-O膜の結晶相制御と強誘電特性の改善
齋藤, 瑞
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さいとう, みずき
お問合せ先 : 北陸先端科学技術大学院大学 研究推進課図書館情報係 (ir-sys[at]ml.jaist.ac.jp)