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著者:  "Tsuda, Osamu"

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発行日タイトル 著者
28-Feb-1997 Growth process of cubic boron nitride films in bias sputter depositionYamada, Yukiko; Tatebayashi, Yoshinao; Tsuda, Osamu; Yoshida, Toyonobu
21-Mar-1998 Microstructure and nanomechanical properties of cubic boron nitride films prepared by bias sputter depositionYamada, Yukiko; Tsuda, Osamu; Yoshida, Toyonobu

 


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